Установки лазерного устранения дефектов фотошаблонов
Этот вид оборудования в комплексе оборудования для фотошаблонного производства занимает неоспоримо важную роль как финишер изготовления бездефектных структур, в том числе на этом этапе должны выполняться работы таким образом, чтобы не допустить внесение новых дефектов собственными процессами установки. Современное оборудование многофункционально, помимо целевых функций они оснащаются сопутствующими, в результате получается синергия уникальных возможностей. Таковыми являются установки, изготавливаемые нашим предприятием для устранения дефектов фотошаблонов.
В процессе производства фотошаблонов выделяют две основные группы дефектов- прозрачные (отсутствие части элементов топологии) и непрозрачные (лишние части элементов топологии).
Для ремонта непрозрачных дефектов устраняется контрольно-проекционный метод формирования оптического изображения.
Для ремонта прозрачных дефектов используется метод лазерно-стимулированного осаждения металлоорганического соединения. Выход в зону дефекта осуществляется автоматически на основе протокола дефектов, формируемых установкой автоматического контроля дефектов.
Для получения более подробной информации по модельному ряду установок лазерного устранения дефектов фотошаблонов свяжитесь с нами:
Отдел маркетинга:
|
Телефон: |
+375 17 223 71 28, |
|
E-mail: |
- Приёмная
