Оборудование контактного переноса изображений на подложки и для организации двусторонней литографии

Один из старейших видов фотолитографии - контактная, тем не менее широко используется в современном производстве. Качество фотошаблонов и современные возможности контроля изготовления фотошаблонов дают высокие результаты для контактной литографии. Здесь существует компромисс между более простым процессом совмещения и экспонирования и сложности и массовости полупроводникового изделия.

За историю нашего предприятия мы разработали широкую гамму установок контактной печати как для мелкосерийных производств и научных лабораторий (с ручной загрузкой), так и полностью автоматических для серийных производств.

Так как на рынке востребованы установки с совмещением по обратной стороне (особенно при производстве МЭМС-приборов и датчиков) нами разработаны установки, позволяющие создавать производственную линию реализующую технологию двусторонней фотолитографии. Наше оборудование является лидером по уровню привносимой дефектности, точности совмещения, разрешающей способности и потребляемой мощности.

ОСНОВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ БАЗИРУЮТСЯ НА УНИКАЛЬНЫХ КОНСТРУКТОРСКИХ РЕШЕНИЯХ:

- автоматическая система совмещения пластины и фотошаблона;
- автоматическая система загрузки и выгрузки пластин;
- автоматическая система компенсации клина и разнотолщинности пластин без контакта с фотошаблоном;
- высокоточный манипулятор перемещения пластин по трем координатам (Х,Y,Q) с двумя ступенями (грубого и тонкого) совмещения;
- возможность работать с пластинами из хрупких материалов (арсенида галлия и ниобата лития толщиной 0.2…0.8 мм);
- автоматическая возможность работы с подложками прямоугольной формы;
- встроенная система видеоконтроля;
- встроенная в установку система защиты от вибрации;
- режим энергосбережения.