Оборудование для фотолитографии

Оборудование для переноса изображений на полупроводниковые пластины являются сердцем полупроводникового производства, ведь по большей части оно и определяет технологический уровень, экономику производства и производительность предприятия.

На нашем предприятии разработаны и производится целая гамма установок в зависимости от философии выполнения фотолитографии - начиная с безмасочной литографии, проекционная литография и заканчивая контактной литографии.

Все это оборудование имеет исполнения в различных вариантах: с ручной загрузкой подложек, что особенно удобно для единичного и мелкосерийного производства с широкой гаммой номенклатуры, так и полностью автоматизированное, оснащенное системами технического зрения, имеющее развитое программное обеспечение, перепрограммируемые загрузочные устройства и предназначенные для массового производства с субмикронными проектными нормами.

Для контроля за качеством изготовления в полупроводниковом производстве, необходим большой комплект контрольно-измерительного оборудования. Важным качеством КИО является контроль бесконтактным методом. Наши установки контролируют плоскостность применяемых подложек, привносимую дефектность, критические размеры, толщины технологических слоев используя оптические методы, что исключает контакта оборудования с подложкой, и как следствие измерения можно приводить на рабочих подложках исключив контрольные пластины. Это значительно увеличивает достоверность замеров и экономит позволяет материалы.

В этом плане выделяется установка контроля микродефектности, которая позволяет контролировать качество технологического процесса на рабочих пластинах с топологией на протяжении всего цикла изготовления и корректировать качество работы технологических установок в случае их сбоя.